經濟實用的神視SUNX晶圓定位傳感器

經濟實用的神視SUNX晶圓定位傳(chuan) 感器

特點應用：

而LED光源的光具有一定波長段，即使氮化膜晶圓也可準確檢測。

0.5ms的高速反應

實現0.5ms的高速反應。兼顧高速反應性和高精度。

基於(yu) 2段受光元件的高精度位置檢測

利用反射光量檢測時，反射光量和晶圓的邊緣形狀會(hui) 影響檢測結果。

M-DW1的受光部使用2段受光元件，通過反射光位置而非反射光量進行檢測。因此，受晶圓厚度和反射光量的影響較小。

測量距離 45mm

檢測物體(ti) 3英寸以上的半導體(ti) 晶圓(注2)

可對應檢測麵 有受光方向反射麵的端麵形狀的檢測麵(注3)

檢測角度 12.5±5°(注4)

晶圓間距 間距3mm以上時，可按通常靈敏度進行分離檢測(注5)

適用晶圓盒 SEMI規格FOUP晶圓盒/開放式晶圓盒

電源電壓 12〜24V DC±10%　脈動P-P10%以下

M-DW1以反射光的位置來檢測，不管反射光量的多少都能檢測出玻璃晶圓。

亦可檢測玻璃晶圓

可檢測塗氮晶圓

氮化膜具有可吸收特定波長光的性質，吸收的波長因氮化膜的厚度而不同。

因此，對於(yu) 使用單波長激光的傳(chuan) 感器，可能會(hui) 因光全被吸收而無法檢測。

產(chan) 品型號：

寶德 

壓力表 00444504，PRESS：8311，4-20MA，12-30V，0-20bar     

球閥 00226498，VL-521T,1/2",225192    

球閥 00226502，VL-521T,2",225196 

Ross

W6476B3401  ROSS

氣動換向閥  2776B6011

三位五通電磁閥 W7077C6331-ROSS帶24DC電磁線圈

二位三通換向閥 2774B9001-ROSS常開式

帶DC24V電磁線圈 ROSS 1個(ge)

二位三通換向閥 2773B9001-ROSS帶DC24控製線圈

經濟實用的神視SUNX晶圓定位傳(chuan) 感器